分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性

高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應(yīng)。 
 
摘要
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性的圖1
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性的圖2
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性的圖3
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性的圖4
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性的圖5
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性的圖6
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