[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估

摘要
 
在激光掃描系統中,F-Theta鏡頭通常被設計用于提供高性能。使用此類透鏡,在目標平面上的聚焦點位移與焦距和掃描角度的產生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統的標準鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下,通過測量實際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小,分析了給定F-Theta透鏡的性能。
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖1


 
建模任務
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖2


 
性能評估——光斑直徑測量
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖3


 
性能評估——光斑位置偏差
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖4


 
走進VirtualLab Fusion
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖5


 
VirtualLab Fusion的工作流程
 
? 從Zemax OpticStudio?導入透鏡系統
- 從Zemax導入光學系統 [用例] 
 
? 分析實際透鏡系統的成像性能
- 分析高NA物鏡聚焦 [用例] 
 
? 利用參數運行檢查不同參數的影響
- 參數運行文檔的使用 [用例] 
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖6


 
VirtualLab Fusion技術
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖7
  

 
文件信息
[VirtualLab] F-Theta掃描透鏡的性能評估的圖8


 
延伸閱讀
- 激光掃描系統性能分析
- 如何建立掃描光源

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