退火銅晶粒生長(zhǎng)模型(熱力耦合),用于TSV、TGV填充晶粒演化(相場(chǎng)模擬)
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結(jié)合電子背散射衍射(EBSD)實(shí)驗(yàn)與耦合熱–力的多晶相場(chǎng)模擬,揭示電鍍 TXV-Cu 在退火過(guò)程中的晶粒演化行為及其對(duì)可靠性的影響;基于相場(chǎng)方法的退火晶粒演化模型,將溫度依賴(lài)的界面遷移率、界面能及熱膨脹效應(yīng)納入描述框架,從而在數(shù)值模擬中再現(xiàn) TXV-Cu 的微觀(guān)組織演變過(guò)程。該模型不僅能夠?yàn)閷?shí)驗(yàn)觀(guān)察提供理論支撐,還可進(jìn)一步用于預(yù)測(cè)不同工藝參數(shù)下 TXV-Cu 的組織演化規(guī)律,為優(yōu)化工藝與提升器件可靠性提供指導(dǎo)。
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Cu 晶粒退火相場(chǎng)演化模擬 (Phase-Field Grain Growth Simulation),等溫或熱傳導(dǎo)近似,多物理量耦合(熱-力-相場(chǎng))。
Grain_growth_coupled_heatVoronoi.m
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