這是一個(gè)一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。

 

光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。

S偏振照明的近場強(qiáng)度

 

P偏振照明的近場強(qiáng)度

 

傅立葉變換后處理計(jì)算透射衍射級(jí)的振幅。

 

參數(shù)掃描

 

Matlab?腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對(duì)入射角度的掃描。

 

它會(huì)生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級(jí)的強(qiáng)度：

 

在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。