摘要

 

顯微系統的分辨率一般用阿貝判據進行表征。這也解釋了物鏡的數值孔徑(NA)決定了光柵(作為樣本)衍射階在其后焦平面上的濾波。當高衍射級次的衍射被濾除后，像面不會發生干涉，因此不會成像。本實例演示了數值孔徑NA對濾波效果和分辨率的影響。

 

1.案例

 

在VirtualLab Fusion中構建系統

 

1.系統構建模塊

 

2.組件連接器

 

幾何光學仿真

 

以光線追跡

 

1.結果：光線追跡

 

快速物理光學仿真

 

以場追跡

 

1.NA=1.4時的光柵成像 

 

2. NA=0.75時的光柵成像 

  

 

3.NA=0.5時的光柵成像 

  

 

文件信息

 

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