基片表面傾斜及衍射對激光會聚原子沉積條紋的影響
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張寶武,張超超,劉若男,王道檔,沈小燕,余桂英
[摘要]目的:探究基片對激光會聚原子沉積的影響。方法:根據光學勢阱中原子運動的軌跡方程,對會聚場的光學勢阱、原子運動軌跡和沉積條紋等進行了仿真實驗。結果:衍射式光學勢阱使原子軌跡提前會聚,進而與傾斜角一起對沉積條紋的質量參數產生了影響。在正傾時,隨著|x0|的增大,條紋半高寬增大,條紋峰值減小;在負傾斜時,隨著|x0|的增大,條紋半高寬保持不變,條紋峰值增大;同時隨著|x0|的增大,沉積條紋的峰值位置相對于波節的偏移量趨向單調增大。在非衍射條件下,偏移量增大4nm;在衍射條件下,偏移量增大15nm。結論:由于衍射的存在,不管基片表面正傾斜還是負傾斜,基片表面上方沿著z方向都會存在一個直邊衍射式的光學勢阱。
[關鍵詞]計量;激光會聚;光學勢能;衍射;傾斜度
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