用于光學檢測的斐索干涉儀

摘要

斐索干涉儀是工業上常用的一種光學測量儀器,常用于高精度的光學表面質量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術,我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測試不同的光學表面,如柱面和球面,可以發現由此產生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。

圖片

建模任務 

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觀測傾斜平面

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觀測柱面

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觀測球面

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走進VirtualLab Fusion

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖6

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖7

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖8

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