JCMsuite案例展示

衰減相移掩膜的仿真分析

在本示例中，模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示：

 

掩模的基板被具有兩個開口的吸收材料所覆蓋。在其中一個開口的下方，位于相移區(qū)域。

掩模的布局是由一個描述襯底吸收層和上層的多層膜組成的。兩個平行四邊形用于定義包括移相器的開口。

掩模是在正入射的S和P偏振情況下模擬的。對于入射方向的定義，使用光瞳面的典型西格瑪坐標(biāo):

 

由于這個例子是所謂的一維掩模(線/空間模式)，在xy平面中有一個2D仿真域。在源文件中設(shè)置3DTo2D = yes標(biāo)簽，以執(zhí)行用戶自定義傳入方向的自動轉(zhuǎn)換。啟用此標(biāo)記后，就可以描述傳入?yún)^(qū)域，就好像光軸與Z軸重合一樣。這允許統(tǒng)一設(shè)置2D和3D的掩模模擬項目。由于光線從基板下方進入，光線的傳輸方向為+Z方向。

相位分布如下圖所示:

 

相移區(qū)域的影響清晰可見，導(dǎo)致開口上方光束的180度相位差。同時光場的S和P分量也顯示出相位差:

在項目文件中，設(shè)置傅里葉變換后處理，得到掩模的透射衍射階數(shù):