摘要

由于制造過程中潛在的不準確性，對于一個好的光柵設計來說，面對光柵參數的微小變化，提供穩健的結果是至關重要的。VirtualLab Fusion為光學工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優化過程，例如參數變化分析儀。該工具結合了同一系統的多次迭代，在優化過程中實現了評價函數的表示和自動計算，如平均效率。在這個用例中，我們通過稍微改變填充因子來優化傾斜光柵來演示這個特性。

仿真任務 

連接建模技術:傾斜光柵

    

可用的微結構建模技術:

光柵階數分析儀

參數變化分析儀

參數優化

優化結果-平均效率

優化結果-對比度