摘要

F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目標平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統，因此在任何給定的系統中，偏離理想行為的偏差都是可以預期的。借助快速物理光學建模和設計軟件VirtualLab Fusion中的掃描光源，通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。

建模任務

系統構建塊-掃描源

系統構建塊-透鏡系統組件

系統構建塊-參數耦合

系統構建塊-畸變分析儀

通用探測器和探測器附加組件

總結-組件…

系統查看

通過系統：三維可視化，不同FoV模式可以通過顏色編碼來區分。此外，可以檢查場的軌跡，以便將探測器放置在正確的位置。

性能評估-光斑位置偏差

性能評估-光斑直徑測量

VirtualLab Fusion技術

文件信息