VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響

摘要 

不同類型的波前像差對焦點上的特征有單獨的影響。因此,能夠詳細研究這些影響是至關重要的,例如,評估成像系統的性能。在VirtualLab Fusion中,可以產生不同的波前像差,并方便地研究其對焦斑分布的影響。作為例子,我們選擇了幾個典型的像差(球面、彗差、像散、……),改變它們的數值,并計算相應的焦點分布。

設計和建模任務

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖1

導入現有結構文件

平面波

波長(486,587,656)nm

視場角(40°)

x方向線偏振光

衍射透鏡

波前相位相應

真實衍射器件結構

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖2

離焦 

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖3

球差

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖4

像散

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖5

彗差

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖6

二階彗差

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖7

三葉草像差

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖8

VirtualLab Fusion 技術

VirtualLab Fusion球面波的像差效應對焦點的影響的圖9

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