基于comsol的空位電子遷移

電子在導體中長時間移動,推動金屬原子或離子運動的現(xiàn)象,稱為電遷移現(xiàn)象。電子元器件的集成度越來越高,微焊點間的距離越來越小,造成互連焊點中的電流密度不斷增加,導致金屬原子的高能態(tài)遷移,在金屬互連線中形成空洞、小丘或凸起破壞焊點。

基于comsol的空位電子遷移的圖1
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