摘要

非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當大，元件的特征尺寸與光的波長相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準確，需要嚴格的技術(shù)。因此，在這個例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設(shè)計，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱為嚴格耦合波分析（RCWA）進行嚴格的性能評估，包括在高度變化的情況下對優(yōu)點函數(shù)變化的研究。

任務(wù) 

? 使用傍軸近似（TEA）進行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計，用于結(jié)構(gòu)設(shè)計部分。

? 使用嚴格分析（FMM/RCWA）對性能進行分析和進一步優(yōu)化，以提高均勻性并評估零階的影響。

模擬與設(shè)置：工具簡介與整體流程概覽

連接建模技術(shù)：衍射光束分束器

通過配置助手和IFTA進行相位設(shè)計

將傳輸函數(shù)轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu)

衍射光束分束器表面

衍射光束求解器 - TEA & FMM

光柵級數(shù) & 可編程光柵分析器

設(shè)計與評估結(jié)果：

? 相位函數(shù)設(shè)計

? 結(jié)構(gòu)設(shè)計

? TEA 評估

? FMM 評估

? 高度縮放檢查（用于優(yōu)化/容限）

僅相位傳輸設(shè)計

結(jié)構(gòu)設(shè)計

使用TEA進行性能評估

使用FMM進行性能評估

進一步的分析（優(yōu)化后，容差分析）

進一步優(yōu)化 - 調(diào)整設(shè)計#1的零階

進一步優(yōu)化 - 調(diào)整設(shè)計#2的零階

進一步優(yōu)化 - 調(diào)整設(shè)計#3的零階