菲索光學測試干涉儀

摘 要

 

斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備,它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。

 

菲索光學測試干涉儀的圖1

建模任務

菲索光學測試干涉儀的圖2

 

傾斜平面下的觀測條紋

菲索光學測試干涉儀的圖3

 

圓柱面下的觀測條紋

菲索光學測試干涉儀的圖4

 

球面下的觀測條紋

 

菲索光學測試干涉儀的圖5

 

VirtualLab Fusion 視窗

 

菲索光學測試干涉儀的圖6

 

VirtualLab Fusion 流程

菲索光學測試干涉儀的圖7

    

VirtualLab Fusion 技術

菲索光學測試干涉儀的圖8

 

文件信息

菲索光學測試干涉儀的圖9

 

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