CINNO Research產(chǎn)業(yè)資訊，德國(guó)化學(xué)材料專業(yè)廠商默克（Merck）正通過提供高端汽車顯示解決方案，加速向柔性O(shè)LED市場(chǎng)的擴(kuò)張。在柔性O(shè)LED的核心技術(shù)——薄膜封裝（TFE）工藝中，默克導(dǎo)入了原子層沉積（ALD）方法，以替代傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積（CVD）方法。

根據(jù)韓媒Sisajournal報(bào)道，據(jù)顯示行業(yè)8月27日消息，默克公司已成功開發(fā)了一種適用于ALD工藝的前驅(qū)體，并將其應(yīng)用于柔性O(shè)LED的薄膜封裝過程中。據(jù)悉，這種新方式實(shí)現(xiàn)了極高的異物檢測(cè)精度，接近零檢測(cè)率。

與普通的剛性O(shè)LED相比，柔性O(shè)LED對(duì)面板的柔韌性有更高要求，因此采用聚酰亞胺（PI）基板替代傳統(tǒng)的玻璃基板，通過層層堆疊無機(jī)膜和有機(jī)薄膜來實(shí)現(xiàn)薄膜封裝。這種結(jié)構(gòu)不僅賦予了面板彎曲的能力，還增強(qiáng)了其耐用性和靈活性。

現(xiàn)有的無機(jī)膜使用了通過CVD方法形成的前驅(qū)體。前驅(qū)體是指在顯示屏和半導(dǎo)體工藝中用于堆疊薄膜的沉積過程中的基礎(chǔ)材料。然而，隨著顯示屏技術(shù)的不斷發(fā)展，厚度日益減薄，空氣和濕氣的滲透問題凸顯，導(dǎo)致薄膜中雜質(zhì)（顆粒）的形成。因此，默克公司采用了原子層沉積（ALD）技術(shù)，并持續(xù)加大研發(fā)投入。

ALD是一種通過將一層一層材料精確堆疊來制作薄膜的方法，可以實(shí)現(xiàn)極高的精度，這有助于降低雜質(zhì)污染的程度，同時(shí)減小薄膜的厚度。

默克韓國(guó)OLED研究所長(zhǎng)金俊浩表示：“ALD被認(rèn)為是無機(jī)薄膜沉積領(lǐng)域的最佳解決方案之一，它在厚度控制、成分控制和均勻性方面展現(xiàn)出卓越的性能。”

“在相對(duì)簡(jiǎn)單的工藝條件和較低的功率下，我們可以精確控制無機(jī)膜的厚度，同時(shí)確保碳和氮等雜質(zhì)的含量非常低，接近于零”，他表示，“此處的零并不是絕對(duì)數(shù)字的含義，而是指達(dá)到了檢出界限（分析設(shè)備所能檢出的最少的量）以下的水準(zhǔn)”。

“這表明使用ALD前驅(qū)體形成的薄膜是均勻且無缺陷的。薄膜的厚度幾乎一致，沒有氣泡或其他缺陷，這是ALD工藝的一個(gè)顯著優(yōu)勢(shì)。”他補(bǔ)充道。

展望未來，預(yù)計(jì)高端汽車市場(chǎng)對(duì)柔性O(shè)LED需求的持續(xù)增長(zhǎng)。根據(jù)市場(chǎng)研究公司Omdia的最新預(yù)測(cè)，汽車OLED市場(chǎng)中的柔性產(chǎn)品出貨量將實(shí)現(xiàn)飛躍式增長(zhǎng)，從今年的100萬片，到明年的200萬片，至2031年將超過800萬片大關(guān)，占據(jù)OLED總出貨量的半壁江山。

另外，默克正在與三星顯示和LG顯示合作，共同開發(fā)OLED材料。LG顯示開發(fā)了P-OLED產(chǎn)品，它結(jié)合了在PI基板上堆疊兩層有機(jī)發(fā)光層的串聯(lián)結(jié)構(gòu)，并將其作為汽車用產(chǎn)品進(jìn)行量產(chǎn)。三星顯示也在不斷擴(kuò)大其基于柔性O(shè)LED技術(shù)的汽車產(chǎn)品陣容。

金俊浩表示：“除了持續(xù)深化ALD工藝的研發(fā)外，默克還在積極探索其他沉積方法的前驅(qū)體材料，如有機(jī)氯化合物和有機(jī)金屬前驅(qū)體等。”