摘要

 

參數(shù)的系統(tǒng)性變化對(duì)復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的詳細(xì)研究具有重要意義。VirtualLab Fusion允許通過(guò)所謂的參數(shù)運(yùn)行功能來(lái)實(shí)現(xiàn)參數(shù)的變化。通過(guò)使用參數(shù)運(yùn)行，可以根據(jù)分析任務(wù)的需求任意配置這些變化。此外，特殊的可編程模式允許自由配置，以提供完全可自定義的參數(shù)變化。通過(guò)實(shí)例介紹了該可編程模式的應(yīng)用。

 

參數(shù)運(yùn)行的初始化

 

參數(shù)的選擇和變化范圍

 

? 在第二頁(yè)，必須選擇參數(shù)運(yùn)行的模式

? 在下表中，可以選擇所需的變化參數(shù)，以及相應(yīng)的變化范圍和變化步數(shù)

? 在這個(gè)例子中，矩形光柵的周期和高度是變化的

 

參數(shù)運(yùn)行的自定義

 

參數(shù)運(yùn)行的自定義

 

? 在下一頁(yè)，顯示了配置的參數(shù)運(yùn)行的迭代

 

參數(shù)運(yùn)行的設(shè)置

? 接下來(lái)，對(duì)于參數(shù)運(yùn)行的所有模式，必須選擇所需的仿真引擎和/或分析器。

? 在本例中，只使用了光柵級(jí)次分析器

 

 

參數(shù)運(yùn)行的設(shè)置

? 然后單擊Go開(kāi)始計(jì)算

? 計(jì)算完成后，所有結(jié)果如下表所示。

 

 

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