摘要

薄元近似（TEA）是一種廣泛使用的方法，例如傅立葉光學計算光柵的衍射效率。 然而，眾所周知，相對較小的光柵周期，該近似變得不準確。 在此示例中，我們選擇兩種類型的透射光柵：正弦光柵和閃耀光柵。 我們同時使用TEA和FMM（也稱為RWCA，是嚴格算法）來分析具有不同周期的此類光柵，并通過比較結果來研究這兩種方法的特性。

   

建模任務

 

正弦光柵—效率與高度（TEA）

 

正弦光柵—透射相位曲線

 

正弦光柵—透射相位曲線

 

正弦光柵—衍射效率

 

正弦光柵—效率與周期

 

正弦光柵—特定周期下的相位曲線

 

閃耀光柵—效率與高度（TEA）

 

閃耀光柵—透射相位曲線

 

閃耀光柵—衍射效率

 

閃耀光柵—效率與周期

 

閃耀光柵—特定周期下的相位曲線

 

VirtualLab Fusion一瞥

 

VirtualLab Fusion工作流程

                  

? 設置光柵結構

?使用界面配置光柵結構[用戶案例]

? 分析光柵衍射效率

?光柵階次分析器[用戶案例]

? 通過參數運行檢查不同參數的影響

? 利用參數運行文檔[用戶案例]

 

 

VirtualLab Fusion技術

 

文件信息

 

 

進一步閱讀

- 用于光導耦合的傾斜光柵分析

- 光柵級次分析器