CINNO Research產業資訊，三星電子的子公司、韓國最大的半導體設備企業Semens實現一直依賴進口的曝光加工用Track設備的韓國國產化。據悉三星電子每年將投入數千億韓元購買該設備，預計替代效果巨大。

Semens公司6月24日表示，公司在韓國首次開發出半導體ArF-i曝光工藝用Track設備“Omega Prime”，繼去年量產1號機出貨后，今年開始生產2號機。

Track是在半導體制造過程中，為了在芯片上形成微電路（圖案），均勻地涂布感光液（PR:Photo Resist），在曝光器上照射光線后再顯現的設備。

一直以來，Semens一直生產用于KrF的Track設備。為了應對光源波長線寬變短的高性能曝光機，公司還開發了ArF-i設備。

ArF-I Track設備目前由日本最大的半導體設備企業東京電子（TEL）占據90%以上的市場份額，基本實現壟斷。

ArF-I Track設備要求高純度、高生產率和高精度。Semens為消除涂布與顯像過程單元的調整偏差，開發并應用了烘烤溫度固定，噴嘴調節等自動化系統。此外還配備了視覺監控功能系統、烘烤自動修復等技術。

Semens首席技術官崔吉賢表示:“半導體核心工藝設備Omega Prime的開發將對今后的進口替代效果產生很大的影響。今后將持續推出以高附加值為中心的獨特和差異化的設備，成長為技術創新企業”。