摘要

 

光柵，特別是具有與波長相當的特征尺寸的光柵，具有偏振相關的光學特性。 這使得設計的具有高衍射效率的光柵難以用于任意偏振。 根據文獻[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中報道的概念，我們展示了如何嚴格分析光柵的偏振相關特性，以及如何使用參數優化來設計具有高衍射效率的偏振無關光柵。

 

 

設計任務

 

 

 

光柵特性與參數的嚴格分析

 

不同光柵周期的衍射效率

 

 

考慮光柵周期的選擇

 

偏振相關衍射特性

 

偏振相關衍射特性

 

偏振相關衍射特性

 

 

基于參數優化的光柵設計

 

具有固定周期的二維參數優化

二維參數優化 - 設計＃1

 

二維參數優化 - 設計＃2

 

制造公差分析 - 設計＃2

 

不同光柵周期的三維參數優化

 

制造公差分析

 

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