摘要

 

當(dāng)光柵的特征尺寸與波長相當(dāng)時，具有偏振相關(guān)的光學(xué)特性。這使得難以針對任意偏振設(shè)計出具有高衍射效率的光柵。根據(jù)文獻(xiàn)中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我們將展示如何嚴(yán)格分析光柵的偏振相關(guān)特性，以及如何使用參數(shù)優(yōu)化設(shè)計具有高衍射效率的偏振無關(guān)光柵。

 

建模任務(wù)

 

光柵特性與參數(shù)的嚴(yán)格分析

 

不同光柵周期下的衍射效率

 

關(guān)于光柵周期選擇的考慮

 

偏振相關(guān)的衍射特性

  

通過參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵設(shè)計

 

固定周期的2D參數(shù)優(yōu)化

2D參數(shù)優(yōu)化–設(shè)計1

 

2D參數(shù)優(yōu)化–設(shè)計2

 

制造公差分析–設(shè)計2

 

變化光柵周期的3D參數(shù)優(yōu)化

 

制造公差分析

 

走進(jìn)VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion中的工作流程 

 

?構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)

?通過使用界面來配置光柵結(jié)構(gòu)

 [用例]

?分析光柵衍射效率

?光柵級次分析器[用例]

?使用參數(shù)運(yùn)行搜索初始解決方案

?參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例]

?通過參數(shù)優(yōu)化找到最終設(shè)計

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

  

 

文件信息

 

 

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