用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀

摘要

 

斐索干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖1

 

建模任務(wù)

 

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖2

 

傾斜平面下的觀測(cè)條紋

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖3

 

圓柱面下的觀測(cè)條紋

 

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖4

 

球面下的觀測(cè)條紋

 

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖5

 

VirtualLab Fusion 視窗

 

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖6

VirtualLab Fusion 流程

設(shè)置入射場(chǎng)

 

- 基本光源模型[教程視頻]

定義元件的位置和方向

 

- LPD II: 位置和方向[教程視頻]

正確設(shè)置通道的非序列追跡

 

- 非序列追跡的通道設(shè)置[用戶(hù)案例]

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖7

    

VirtualLab Fusion 技術(shù)

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖8

 

文件信息

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀的圖9

 

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