摘要

 

當光柵的特征尺寸與波長相當時，具有偏振相關的光學特性。這使得難以針對任意偏振設計出具有高衍射效率的光柵。根據文獻中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我們將展示如何嚴格分析光柵的偏振相關特性，以及如何使用參數優化設計具有高衍射效率的偏振無關光柵。

 

建模任務

 

光柵特性與參數的嚴格分析

 

不同光柵周期下的衍射效率

 

關于光柵周期選擇的考慮

 

偏振相關的衍射特性

  

通過參數優化進行光柵設計

 

固定周期的2D參數優化

2D參數優化–設計1

 

2D參數優化–設計2

 

制造公差分析–設計2

 

變化光柵周期的3D參數優化

 

制造公差分析

 

走進VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion中的工作流程 

 

?構造光柵結構

?通過使用界面來配置光柵結構

 [用例]

?分析光柵衍射效率

?光柵級次分析器[用例]

?使用參數運行搜索初始解決方案

?參數運行文檔的使用[用例]

?通過參數優化找到最終設計

 

VirtualLab Fusion技術