非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析

摘要

 

直接設(shè)計非近軸衍射分束器仍然是很困難的。由于有相對較大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波長。因此,它通常超出近軸建模方法的范圍。在此示例中,將迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元結(jié)構(gòu)的初始設(shè)計,然后將傅里葉模態(tài)法(FMM)應(yīng)用于嚴格的性能評估。 

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖1

 

設(shè)計任務(wù)

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖2

 

純相位傳輸?shù)脑O(shè)計

 

使用迭代傅立葉變換算法(IFTA)進行純相位傳輸設(shè)計。

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖3

 

結(jié)構(gòu)設(shè)計

 

在近軸假設(shè)下使用薄元近似(TEA)進行結(jié)構(gòu)設(shè)計。

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖4

 

使用TEA進行性能評估

 

在近軸假設(shè)下使用TEA進行評估,即與設(shè)計方法相同

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖5

 

使用傅里葉模態(tài)法進行性能評估

 

使用嚴格的FMM進行評估以檢查非近軸情況下的實際性能。

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖6

 

進一步優(yōu)化–零階調(diào)整

 

無需任何假設(shè)即可使用FMM直接進行結(jié)構(gòu)優(yōu)化。

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖7

 

進一步優(yōu)化–零階調(diào)整

 

無需任何假設(shè)即可使用FMM直接進行結(jié)構(gòu)優(yōu)化。

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖8

 

VirtualLab Fusion一瞥 

 

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖9

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

? 使用IFTA設(shè)計純相位傳輸

?在多運行模式下執(zhí)行IFTA

?設(shè)計源于傳輸?shù)腄OE結(jié)構(gòu)

?結(jié)構(gòu)設(shè)計[用例]

?使用采樣表面定義光柵

?使用接口配置光柵結(jié)構(gòu)[用例]

?參數(shù)運行的配置

?參數(shù)運行文檔的使用[用例]

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖10

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖11

 

文件信息

非近軸衍射分束器的設(shè)計與嚴格分析的圖12

 

更多閱讀

- Grating Order Analyzer

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