摘要

 

在傳統的 Talbot 光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里葉模態方法 (FMM，也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進行建模。可以檢測到不同的 Talbot 圖像，在主像平面中會再現柱狀圖案，而在次要像平面中再現孔圖案。

 

 

建模任務

 

 

structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

 

系統建模塊

 

 

特定位置的Talbot圖案

 

特定位置的Talbot圖案

 

不同位置的Talbot圖案

 

不同位置的Talbot圖案

 

沿 Z 軸的強度

 

VirtualLab Fusion技術

  

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