??

摘要

由于制造過(guò)程中潛在的不準(zhǔn)確性，對(duì)于一個(gè)好的光柵設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō)，面對(duì)光柵參數(shù)的微小變化，提供穩(wěn)健的結(jié)果是至關(guān)重要的。VirtualLab Fusion為光學(xué)工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優(yōu)化過(guò)程，例如參數(shù)變化分析儀。該工具結(jié)合了同一系統(tǒng)的多次迭代，在優(yōu)化過(guò)程中實(shí)現(xiàn)了評(píng)價(jià)函數(shù)的表示和自動(dòng)計(jì)算，如平均效率。在這個(gè)用例中，我們通過(guò)稍微改變填充因子來(lái)優(yōu)化傾斜光柵來(lái)演示這個(gè)特性。

仿真任務(wù) 

連接建模技術(shù):傾斜光柵

    

可用的微結(jié)構(gòu)建模技術(shù):

光柵階數(shù)分析儀

參數(shù)變化分析儀

參數(shù)優(yōu)化

優(yōu)化結(jié)果-平均效率

優(yōu)化結(jié)果-對(duì)比度

??