課程四十八：從初始結構開始設計的微光刻透鏡

你現在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細的鏡頭。如果你想更好的學習光學設計，這將是一個好的學習例子。

本課將給出一個學習例子:

1. 鏡片數22片

2. 物高31mm

3. 物方數值孔徑NA 0.2

4. 波長為UV

5. 像方晶圓尺寸是12.66mm

6. 總長小于1200mm

這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設計。首先，我們將為左半部分設計一個鏡片組，可以讓光束經過遮光罩，光束到中心后被準直。然后我們將為右半部分設計第二個鏡片組，將準直光束成像到晶圓片上。

首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：

下面是對 DSEARCH 的輸入：

CORE 14TIME 
DSEARCH 2 QUIET

SYSTEM 
ID DSEARCH LEFTUNI MMOBA 15 31 3 31OSNA .2TCOWAVL .354732 .354712 .354692AFOCENDGOALSELEM 11TOTL 600 .1TOPD .01NPASS 50QUICK 20 50ANNEAL 50 10 QSNAP 10RSTART 1000ASTART 25THSTART 12FOV 0 .5 .707 1  FWT 1 1 1 1ENDSPECIAL PANTCBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67CUL 1.6FUL 1.6ENDSPECIAL AANTADT 7 .01 1M 0 .1 A SAPM 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1ENDGOTIME 

返回一個非常好的初始結構，我們將它保存。 使用命令為： SAVE LEFT11.

 現在激活 ACON 2，我們使用 DSEARCH 來設計右半邊的鏡片組，輸入命令如下：

CORE 14TIME 
DSEARCH 3 QUIETSYSTEM ID DSEARCH RIGHT  UNI MMOBB 0 4 83.36WAVL .354732 .354712 .354692ENDGOALSELEM 11TOTL 600 .01FNUM 1BACK 11 SETTOPD .01STOP FIRSTSTOP FIXEDNPASS 50QUICK 20 50ANNEAL 50 10 QSNAP 10RSTART 1000ASTART 25THSTART 12FOV 0 .5 .707 1FWT 1 1 1 1ENDSPECIAL PANTCBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67CUL 1.6FUL 1.6ENDSPECIAL AANTADT 7 .01 1M 0 1 A P HH 1M 0 10 A P YA 1S GIHTM 0 10 A DI3ENDGOTIME

結果很好，我們保存了這個鏡頭，使用命令： SAVE RIGHT11.

現在把這兩部分合并起來。再次激活 ACON 1，并輸入：

    COMBINE 23

  RIGHT11.

現在它們被合并成了一個鏡頭。

現在打開由 DSEARCH 為右半部分鏡片組準備的優化宏，修改 TOTL的設置，指定1200mm長度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。還為后焦添加一個控制目標，現在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后運行宏并模擬退火(33,2,50)。鏡頭得到了改進。

查看多視場衍射  MTF ，在像質分析中，選擇 MTF（衍射） 多視場衍射  MTF ，顏色為  M， 然后運行  MMF

查看畸變圖，在像質分析中，選擇像差畸變，顏色為 M ，運行 DIS

我們有了一個非常好的微光刻鏡頭。

很高興您選擇 SYNOPSYS 來設計您的鏡頭，它可以快速的做出非常好的設計。