摘要

當用近軸光照明時，亞波長光柵僅產生一個衍射級，因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程，包括使用傅立葉模態法對亞波長光柵進行嚴格模擬。

 

1. 建模任務

 

 

3. 文件和技術信息