CINNO research產業資訊，2023年12月14日-全球領先的納米電子、數字技術研究和創新中心Imec與日本領先的化學公司和EUV薄膜供應商三井化學宣布，開始就極紫外光刻用碳納米管（CNT）基薄膜（Pellicle）的商業化建立戰略合作伙伴關系。根據這一合作伙伴關系，三井化學將把imec的碳納米管基薄膜創新地整合到其現有碳納米管薄膜技術中，以建立完整的生產規格。這一合作的目標是在2025-2026年將其用于大功率EUV系統的制造中，雙方的簽約儀式在東京舉行的Semicon Japan 2023上舉行。

據介紹，合作伙伴雙方計劃通過相關咨詢和imec的EUV掃描設備驗證，共同開發EUV薄膜，以便在三井化學公司進行商業化。這種薄膜可以保護光掩模在EUV曝光過程中免受污染，它具有極高的EUV透射率（≥94%）、極低的EUV反射率和最小的光學影響——這些是先進半導體制造工藝中實現高產量和高良率生產的關鍵特性。CNT薄膜能夠承受超過1kW的EUV功率水平，能夠支持實現未來EUV光源的目標功率（>600W）。鑒于這些優勢，這種碳納米管基薄膜，引起了眾多希望在其大批量制造過程中使用EUV光刻技術的公司的強烈興趣。在這樣的市場背景下，上述合作伙伴雙方希望通過共同開發適合行業的CNT薄膜，以滿足市場需求。

“Imec在支持半導體生態系統推進光刻技術發展方面有著悠久的歷史。自2015年以來，我們與整個供應鏈的合作伙伴合作，開發了一種創新的基于CNT的薄膜設計，用于先進的EUV光刻，”Imec高級圖案化、工藝和材料高級副總裁Steven Scheer表示：“我們相信，公司對CNT膜的測量、表征和參數性能方面的深入了解將加速三井化學的產品開發。我們希望共同將CNT膜投入商業生產，用于未來幾代EUV光刻系統的構建。”

從上述光刻技術的路線圖看出，市場預計在2025-2026年會推出新的薄膜，即下一代ASML 0.33NA EUV光刻系統，支持600W及更高功率水平的光源。該時間與超過2nm邏輯技術節點的插入相關聯。

關于imec

Imec是全球領先的納米電子、數字技術研究和創新中心。該研究中心利用其最先進的研發基礎設施及其5500多名員工和頂尖研究人員的團隊。除了先進半導體、硅光子學、人工智能、5G通信和傳感技術之外，他們還致力于健康和生命科學、移動、工業4.0、農產品、智能城市、可持續能源等眾多應用領域的研發。Imec將半導體價值鏈、佛蘭德斯和國際科技、制藥、醫療和ICT公司、初創企業、學術界和知識中心的世界行業領導者團結在一起。Imec的總部位于魯汶（比利時），在比利時、荷蘭和美國設有研究機構，并在三大洲設有代表處。2022年，imec的收入（P&L）總計8.46億歐元。

關于三井化學

三井化學的起源可以追溯到1912年，當時該公司最先在日本開始用煤氣副產品生產化肥原材料。這項事業大大提高了農業生產力，它是當時的一個主要社會問題。后來，該公司將其技術從煤化工發展到天然氣化工，并于1958年建造了日本第一個石化聯合企業，從而為日本工業的快速發展提供了動力。如今，該公司擁有許多世界級的產品，銷售額超過16000億日元，在30個國家擁有160多家公司。其業務組合包括生命與醫療保健解決方案、移動解決方案、ICT解決方案、基礎與綠色材料。