摘要

 

掃描干涉儀是用于執行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現干涉圖樣。 因此，它可以實現精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。

 

建模任務

 

 

仿真干涉條紋

 

 

走進VirtualLab Fusion

 

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

?設置輸入場

?基本光源模型[教程視頻]

?使用導入的數據自定義表面輪廓

?定義元件的位置和方向

? LPD II：位置和方向[教程視頻]

?正確設置通道以進行非序列追跡

?非序列追跡的通道設置[用例]

?使用參數運行檢查影響/變化

?參數運行文檔的使用[用例]

 

 

VirtualLab Fusion技術

 

文件信息

 

 

更多閱覽

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