摘要 在激光掃描系統(tǒng)中，F(xiàn)-Theta鏡頭通常被設(shè)計(jì)用于提供高性能。使用此類透鏡，在目標(biāo)平面上的聚焦點(diǎn)位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過測量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。

 建模任務(wù)

 性能評估——光斑直徑測量

 性能評估——光斑位置偏差

 走進(jìn)VirtualLab Fusion

 VirtualLab Fusion的工作流程
 ? 從Zemax OpticStudio?導(dǎo)入透鏡系統(tǒng)- 從Zemax導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng) [用例]  ? 分析實(shí)際透鏡系統(tǒng)的成像性能- 分析高NA物鏡聚焦 [用例]  ? 利用參數(shù)運(yùn)行檢查不同參數(shù)的影響- 參數(shù)運(yùn)行文檔的使用 [用例] 

 VirtualLab Fusion技術(shù)  

 文件信息