用于光學檢測的斐索干涉儀

摘要

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖1
 斐索干涉儀是工業上常用的一種光學測量儀器,常用于高精度的光學表面質量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術,我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測試不同的光學表面,如柱面和球面,可以發現由此產生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。 

建模任務

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖2
 觀測傾斜平面

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖3
 觀測柱面

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖4
 觀測球面

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖5
 走進VirtualLab Fusion

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖6
 VirtualLab Fusion的工作流程? 設置輸入場- 基本光源模型 [教學視頻] ? 使用表面構造真實元件 ? 定義元件的位置和方向- LPD II:位置和方向 [教學視頻] ? 為非序列場追跡設置合適的通道- 非序列場追跡的頻道設置 [用例] 
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖7 VirtualLab Fusion技術
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖8 文件信息
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖9 延伸閱讀
- 基于激光的邁克爾遜干涉儀和干涉條紋探測- 馬赫-澤德干涉儀

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