摘要

 

在傳統的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過傅立葉模態法（FMM，也稱為RCWA）在VirtualLab Fusion中對具有一層圓錐體的相位掩模進行了建模。探測得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。

 

建模任務

結構和材料參數來自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

 

某一位置的Talbot圖樣

  

某一位置的Talbot圖樣

 

不同位置的Talbot圖樣

 

不同位置的Talbot圖樣

 

沿Z軸的強度

 

走進VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion的工作流程

 

? 構建光柵結構

- 用特殊介質構造光柵結構 [用例] 

- 超穎光柵構建 – 示例討論 [用例] 

 

? 通過參數運行計算不同位置的強度

- 參數運行文件的使用 [用例] 

 

 

VirtualLab Fusion技術

  

文件信息

 

延伸閱讀

- 超稀疏介質納米線柵偏振片

- 光柵級次分析器

- Talbot效應的建模