1. 摘要
共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得專利，后來以激光作為光源，現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過使用空間針孔來阻擋離焦平面散射或反射的光， 促進(jìn)提高縱向分辨率和對比度。 在此示例中，我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描顯微鏡，并使用具有變化的脊和槽的金屬光柵作為測試對象來演示其工作原理。

 2. 建模任務(wù)
共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，并且探測功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化？

 3. 聚焦區(qū)域的探測場 

 4. 來自測試對象的直接反射 

 5. 待測目標(biāo)成的像

 6. 功率測量VS待測目標(biāo)的橫向偏移

 7. 走進(jìn)VirtualLab Fusion 

 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 
? 使用界面構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)- 使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)[用例]
? 復(fù)雜系統(tǒng)中的光柵建模- 光學(xué)系統(tǒng)中光柵的建模–實(shí)例討論[用例]
? 正確設(shè)置通道以進(jìn)行多通道仿真
- 曲面和光柵區(qū)域的通道配置[用例]
? ?使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/更改
- 參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] 

9. VirtualLab Fusion 技術(shù) 

文件信息  

進(jìn)一步閱讀
- Demonstration of Abbe's Theory of Image Formation-
 Modeling of Gratings within Optical System- Discussion at Examples