案例246.01：鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬

這個案例演示了對于鍍膜光柵的嚴格模擬，它說明了鍍膜對所有反射級次的總反射效率的影響。

關鍵詞：嚴格分析，FMM，正弦光柵，鍍膜

所需工具箱子：光柵工具箱

相關案例：G.001a,Scenario 104.01

建模任務

加載例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一個正弦光柵，使用光柵效率分析器分析光柵。

雙擊General 2D Grating component選擇Struture Function 頁面，打開編輯對話框，添加光柵。

為了在嚴格模擬時添加鍍膜，必須將堆棧作為一個序列的表面和材料添加進來。點擊Stack Tools,選擇Insert Coating。

選擇光學界面no.1作為鍍膜表面。點擊 按鈕來載入膜層目錄。

選擇Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,點選Stack01_632.8nm。選擇OK關閉對Edit Coating Tool話框。

堆棧編輯器包含頂層表面的膜層。點擊OK關閉堆棧編輯器。點擊底部的OK按鈕來關閉元件對話框。使用光柵效率分析器分析光柵。

X線偏振光模擬結果：

探測器主窗口中可以看到結果信息，鍍膜后的反射率顯著加強。

在Ideal Plane Wave 光源編輯對話框中改變偏振態為y方向線偏光。這里有兩個預先設置好的例子文件來演示y線偏光。

Y線偏光模擬結果

對于y線偏光同樣鍍膜會顯著增加反射率。

結論：

嚴格的鍍膜光柵模擬需要將膜層定義為序列的表面。光柵工具箱允許分析使用VirtualLabTM自帶的膜層庫中的膜層鍍膜效果。VirtualLabTM可以考慮膜層在法矢方向上厚度的減小，這是加工過程中經常出現的問題。

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