用于光學檢測的斐索干涉儀

摘要  
斐索干涉儀是工業上常見的光學計量設備,通常用于高精度測試光學表面的質量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下,我們建立了一個Fizeau干涉儀,并將其用于測試不同的光學表面,例如圓柱形和球形表面。結果表明,表面輪廓對干涉條紋的產生是敏感的。
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖1  
建模任務   
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖2
測試表面
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖3
非序列追跡
用于光學檢測的斐索干涉儀的圖4
通用探測器和探測器附加組件  

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖5

總結-組件

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖6

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖7

觀測下的傾斜平面

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖8

被觀測圓柱面

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖9

被觀測球面

用于光學檢測的斐索干涉儀的圖10



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