光學(xué)測量＞顯微

 

任務(wù)/系統(tǒng)視圖

 

 

亮點(diǎn)

 

 

? 顯微鏡系統(tǒng)中光柵的全矢量分析

? 在幾秒鐘內(nèi)對復(fù)雜系統(tǒng)進(jìn)行快速高性能分析

? 光線追跡和物理光學(xué)建模之間的簡單切換

 

說明：光源

 

 

 

說明：透鏡系統(tǒng)

 

說明：樣品結(jié)構(gòu)

 

 

說明：探測器

 

 

結(jié)果：3D光線追跡

 

 

 

結(jié)果：光線追跡

 

 

結(jié)果：光線追跡衍射級數(shù)

 

 

結(jié)果：場追跡采樣平面

 

 

結(jié)果：場追跡焦平面

 

 

結(jié)果：減小光柵周期
 

隨著光柵周期的減小，光柵結(jié)構(gòu)不能被分辨。

 

 

 

 

 

文檔和技術(shù)信息