成像系統(tǒng)>包括光柵

 

任務(wù)/系統(tǒng)說明

 

 

亮點

 

? 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)）

? 嚴(yán)格分析光柵衍射效率

? 考慮入射光的方向分布

 

說明：光源

 

 

說明：光束分束器

 

 

說明：檢測透鏡系統(tǒng)

 

 

說明：微型晶片

 

 

說明：檢測物鏡

 

 

說明：探測器

 

 

結(jié)果：3D光線追跡（只有0級）

 

 

結(jié)果：3D光線追跡（所有級）

 

 

結(jié)果：光線追跡

 

結(jié)果：場追跡

 

結(jié)果：線性偏振光的場追跡

 

 

文檔和技術(shù)信息