涂層工藝數(shù)值仿真
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實(shí)現(xiàn)均勻的涂層質(zhì)量在許多行業(yè)中都很重要,包括光學(xué)涂層、半導(dǎo)體和電子行業(yè),利 用薄膜的技術(shù),以及金屬的表面處理。不良的涂層質(zhì)量會(huì)影響產(chǎn)品的性能,甚至在某 些情況下導(dǎo)致產(chǎn)品完全失效。涂層工藝有很多種,本案例研究狹縫式涂布工藝 (即預(yù)計(jì)量涂布方法)的性能。在 這種工藝中,涂層流體從細(xì)狹縫流到移動(dòng)的基板上。最終涂層厚度根據(jù)涂層液體的連 續(xù)性關(guān)系來計(jì)算。因此,液體層的厚度由狹縫間隙、涂覆流體入口速度和基板速度決定。涂層工藝的最終目標(biāo)是獲得所需厚度的無缺陷薄膜。然而,制造均勻的涂層不是一項(xiàng) 簡(jiǎn)單的任務(wù),在該過程中經(jīng)常出現(xiàn)各種流動(dòng)不穩(wěn)定性或缺陷,如氣泡、帶狀物和細(xì)流。 模具幾何形狀、槽的尺寸和基板上方的高度,以及涂布液的非牛頓流體性質(zhì)都是需要 考慮的重要因素。
本案例通過非牛頓流體模型來模擬涂布液體,基于兩相流方法實(shí)現(xiàn)了涂層工藝的仿真過程,模擬結(jié)果如圖所示:

涂層不均勻現(xiàn)象

涂層均勻涂布
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