CINNO Research產業資訊，去年以來，中美矛盾的核心是“半導體設備出口管制”。美國政府的方針是不要將制造尖端半導體的設備和技術賣給中國及中國的企業。

根據韓媒Thelec報道，美國監管中國出口的半導體設備中，最引入注目的是EUV(極紫外線)設備。因為EUV設備對于極微半導體制造工藝至關重要。對于EUV設備出口管制，荷蘭政府和ASML表示反對，稱“如果需要的話，也會把設備賣給中國”。也有外媒報道稱，中國開始開發自己的EUV設備。

漢陽大學新材料工程系教授安鎮浩

中國能否成功開發出EUV設備？另外，EUV生態系統正式爆發的時間是什么時候？從被譽為韓國EUV最高專家的漢陽大學新材料工程系教授安振浩那里，我們可以了解到相關展望和預測。

今年2019年，安教授主導成立韓國首個EUV相關產學合作中心—EUN-IUCC(極紫外線產學合作研究中心)。最近，他以該中心為基礎，主導成立了漢陽智能半導體研究院(HY-ISS)，負責整個半導體工藝的研發，并擔任首任院長。

安鎮浩教授斬釘截鐵地說：“面對美國的出口管制，中國開始研發EUV設備，但不可能在短期內開發成功。”他說：“EUV的技術難度很高，連日本都放棄了。10年、15年后，(中國成功開發EUV設備)將是不可能的。”

安教授接著評價稱：“High-NA EUV設備能夠實際應用于量產的時間將是2026年”，“High-NA EUV設備價格高達每臺5000億韓元（約26.5億人民幣），雖然很貴，但要想穩定高效運營精細工藝，轉型是必須的。”

圍繞半導體工藝的周邊生態系統也強調要為向High-NA EUV時代過渡做好準備。安教授表示：“EUV的Lens數差越多，光源的功率越高，對光刻膠(PR)、掩膜版、防護膜(pellicle)等各個半導體材料、器件要求的規格也會更高。因此，需要提高耐久性，或者利用針對更細微電路實現優化的材料的方式等。”

季度全球半導體裝備行業市場分析報告（大綱）

一、全球半導體裝備企業市場規模分析（Top10）

1. 全球主要半導體裝備企業季度經營情況分析

2. 中國大陸主要半導體裝備企業季度經營情況分析

二、中國大陸半導體裝備行業市場投資情況分析

1. 中國大陸半導體裝備行業季度投資規模分析

2. 中國大陸半導體裝備行業季度投資區域分析  

3. 中國大陸半導體裝備行業季度投資分布分析

三、全球半導體裝備行業新技術發展洞察

1. 全球半導體裝備行業細分領域新技術趨勢洞察

2. 中國大陸半導體裝備行業細分領域技術發展洞察

四、全球半導體行業裝備產業最新動態

1. 半導體裝備行業相關最新政策解讀

2. 半導體裝備行業企業投資動態簡析

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