壓阻式壓力傳感器是首批商業(yè)化的 MEMS 器件之一。與電容式壓力傳感器相比，這種傳感器更易于與電子器件集成，響應(yīng)更加線性，并且本質(zhì)上不受 RF 噪聲的影響。不過，壓阻式壓力傳感器在運(yùn)行過程中通常需要更多的功率，并且傳感器的基本噪聲限度高于電容式壓力傳感器。長期以來，壓阻器件在壓力傳感器市場占據(jù)主導(dǎo)地位。本案例建立了一壓阻式壓力傳感器，如圖1所示。

圖1 幾何模型

數(shù)值仿真得到微梁的位移和應(yīng)力分布，如圖2所示。

圖2 微梁應(yīng)力分布云圖

壓敏電阻器的電勢分布云圖，如圖3所示。

圖3 壓敏電阻器電勢分布

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