離子注入機：四大核心裝備之一，迎來國產(chǎn)替代機遇!

半導(dǎo)體材料與工藝設(shè)備

2022年3月17日 10:45

離子注入機：半導(dǎo)體晶圓制造等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備之一

在半導(dǎo)體晶圓制造中，由于純凈硅的導(dǎo)電性能很差，需要加入少量雜質(zhì)使其結(jié)構(gòu)和電導(dǎo)率發(fā)生改變，從而變成一種有用的半導(dǎo)體，這個過程稱為摻雜。 目前摻雜主要有高溫?zé)釘U散法和離子注入法兩種，離子注入占據(jù)著主流地位：

高溫?zé)釘U散法： 將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐中，將雜質(zhì)擴散到硅片內(nèi)的方法。由于熱擴散存在精度較難控制、高熱熱缺陷等缺點，在現(xiàn)在的工藝中已經(jīng)較少采用。

離子注入法： 通過離子注入機的加速和引導(dǎo)，將要摻雜的離子以離子束形式入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子發(fā)生一系列理化反應(yīng)，入射離子逐漸損失能量，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，最后停留在材料中，實現(xiàn)對材料表面性能的優(yōu)化或改變。離子注入具備精確控制能量和劑量、摻雜均勻性好、純度高、低溫?fù)诫s、不受注射材料影響等優(yōu)點，目前已經(jīng)成為0.25um特征尺寸以下和大直徑硅片制造的標(biāo)準(zhǔn)工藝。

離子注入機與光刻機、刻蝕機和鍍膜機并稱四大核心裝備，開發(fā)難度僅次于光刻機。具體分類，根據(jù)《離子注入機通用規(guī)范》（GB/T 15862-2012），離子注入機按能量高低可分為：低能離子注入機、中能離子注入機、高能離子注入機和兆伏離子注入機；按束流大小可分為：小束流離子注入機、中束流離子注入機、強流離子注入機和超強流離子注入機（通常將強流離子注入機和超強流離子注入機統(tǒng)稱為大束流離子注入機）。

由于集成電路制程向14nm及以下繼續(xù)縮小，源漏極的結(jié)深相應(yīng)減小，為了實現(xiàn)淺層摻雜，低能大束流（高劑量/淺度摻雜）日漸成為主流，其技術(shù)難度也最高，根據(jù)浦東投資的統(tǒng)計，目前低能大束流占有離子注入機市場的55%。

按下游領(lǐng)域分類，目前離子注入機可用于眾多領(lǐng)域，包括集成電路與IGBT制造領(lǐng)域、太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域、AMOLED面板制造等。

離子注入機主要由離子源、磁分析器、加速管或減速管、聚焦和掃描系統(tǒng)、工藝腔（靶室和后臺處理系統(tǒng)）五部分組成。設(shè)備工作時，從離子源引出的離子經(jīng)過磁分析器選擇出需要的離子，分析后的離子經(jīng)加速或減速以改變離子的能量，再經(jīng)過兩維偏轉(zhuǎn)掃描器使離子束均勻的注入到材料表面，用電荷積分儀可精確的測量注入離子的數(shù)量，調(diào)節(jié)注入離子的能量可精確的控制離子的注入深度。

市場空間：全球市場規(guī)模較大，未來有望繼續(xù)擴大

半導(dǎo)體制造：25 億美元空間，受益下游需求與技術(shù)演進(jìn)規(guī)模有望擴大

根據(jù)SEMI的統(tǒng)計，2018年全球晶圓加工設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到502億美元，同比增 52%。根據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院的統(tǒng)計，離子注入機占晶圓加工設(shè)備的比重大約為5%，因此2018年用于晶圓制造的離子注入機全球市場規(guī)模達(dá)到了25億美元。

展望未來，我們認(rèn)為半導(dǎo)體離子注入機行業(yè)的未來成長驅(qū)動力來源于兩點：

一方面，離子注入機長期看受益于全球半導(dǎo)體需求增加與產(chǎn)線產(chǎn)能的擴充。 全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)空間廣闊，根據(jù)全球半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計組織（WSTS）的數(shù)據(jù)，2018年全球半導(dǎo)體（含分立器件、光電子、傳感器、集成電路）市場規(guī)模高達(dá)4687.8億美元，同比增13.7%，十年復(fù)合增速達(dá)6.5%。

展望未來，我們認(rèn)為在5G、AI、汽車電子等新興領(lǐng)域的驅(qū)動下，半導(dǎo)體的長期成長空間有望進(jìn)一步拉大。從半導(dǎo)體的應(yīng)用結(jié)構(gòu)來看，根據(jù)賽迪顧問的統(tǒng)計，2018年半導(dǎo)體下游應(yīng)用領(lǐng)域分別為通信（32.4%）、計算機（30.8%）、工業(yè)（12%）、消費電子（12%）、汽車（11.5%）、政府（1%），每個領(lǐng)域均有相應(yīng)的成長點，5G網(wǎng)絡(luò)的建設(shè)、人工智能的應(yīng)用與產(chǎn)品升級、智能終端的技術(shù)創(chuàng)新以及自動駕駛的持續(xù)滲透等，都帶來了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)市場規(guī)模的進(jìn)一步提升。

從產(chǎn)能的數(shù)據(jù)來看，根據(jù)SEMI的統(tǒng)計，預(yù)計未來2019-2020年全球半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)能（折合成8寸晶圓）將以4-5%的同比增速持續(xù)增長。隨著半導(dǎo)體大廠產(chǎn)線的開出與產(chǎn)能的增加，離子注入機作為最重要的設(shè)備之一，市場規(guī)模也將進(jìn)一步提升。

另一方面，工藝制程的進(jìn)步增加了離子注入的工藝工序。 當(dāng)前采用嵌入式存儲器的CMOS集成電路的注入工序多達(dá)60多道。展望未來，在摩爾定律的推動下，集成電路的線寬將不斷縮小以應(yīng)對元器件集成度大幅提高的要求，而這會直接導(dǎo)致了制造工藝步驟增多與復(fù)雜度增加。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，20nm工藝所需總工序約為1000道，而10nm和7nm工藝所需總工序已超過1400道。

太陽能電池生產(chǎn)：離子注入占整體比例相對較低，未來有望繼續(xù)成長

整體光伏產(chǎn)業(yè)來看，根據(jù)中國光伏行業(yè)協(xié)會（CPIA）的統(tǒng)計，2018年全球光伏設(shè)備市場規(guī)模為48億美元，同比增8%。太陽能光伏設(shè)備可分為硅片生產(chǎn)、電池生產(chǎn)和組件生產(chǎn)三個環(huán)節(jié)的設(shè)備，其中離子注入主要用于電池生產(chǎn)，由于全球僅萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通、美國Intevac和日本真空技術(shù)三家生產(chǎn)太陽能離子注入機，根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，2017年萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通和Intevac分別銷售15和2臺離子注入機（日本真空技術(shù)未披露銷量），以600萬人民幣的平均單價來測算，則2017年離子注入機的市場規(guī)模至少為1.02億人民幣，占2017年全球光伏設(shè)備市場規(guī)模為0.3%以上。

展望未來，隨著國內(nèi)光伏建設(shè)的政策支持與方案落地，疊加歐洲、印度與其他新興國家的發(fā)力，全球光伏裝機量有望持續(xù)增長，從而帶來整體光伏設(shè)備與太陽能離子注入設(shè)備行業(yè)的繼續(xù)成長。

AMOLED 面板制造：超過 3億美元空間，受益下游 AMOLED 浪潮

根據(jù)DSCC和DIGITIMES的統(tǒng)計，2019年全球OLED面板設(shè)備的投資有望達(dá)到 52億美元。AMOLED制程可分為前段、中段與后段，根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，AMOLED 生產(chǎn)前段、中段與后段三個制程的設(shè)備投入占比分別約為70%、25%、5%，其中AMOLED離子注入機投資約占AMOLED前段設(shè)備投資額的10%。因此整體而言 AMOLED離子注入機占整體AMOLED設(shè)備支出的7%，市場規(guī)模至少為3.64億美元。

OLED屏幕相比LCD屏幕具備顯示效果好、更輕薄、能耗低、可實現(xiàn)柔性效果等優(yōu)點，隨著技術(shù)的逐漸成熟與成本的逐漸下降，在智能手機中的滲透率將不斷提升。同時折疊屏手機的面世也將帶動OLED需求的增長，OLED面板的市場規(guī)模將不斷擴大。

根據(jù)IHS的統(tǒng)計，2019和2020年全球中小尺寸AMOLED面板需求將以20%左右的增速持續(xù)成長，需求的成長也將帶來AMOLED廠家的擴產(chǎn)，帶來離子注入設(shè)備新增需求。

競爭格局：壁壘高企，國外廠商占據(jù)大部分市場

離子注入機屬于高壁壘行業(yè)，存在以下幾個方面的競爭壁壘：

技術(shù)壁壘： 離子注入機在研發(fā)和生產(chǎn)過程中涉及高壓電子、機械、電氣、計算機控制、等離子體物理等多個高技術(shù)學(xué)科，理論門檻較高，系統(tǒng)集成難度較大，同時要考慮下游光伏、集成電路、AMOLED等應(yīng)用端客戶的生產(chǎn)工藝路線和技術(shù)水平。技術(shù)要求和準(zhǔn)入門檻較高。

人才壁壘： 國際從事離子注入機研發(fā)制造的公司很少，市場上相關(guān)人才匱乏，國內(nèi)僅有萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通和中科信具備離子注入機的研發(fā)和生產(chǎn)能力，離子注入機廠商招聘成熟離子注入機人才難度較大，需要自我培養(yǎng)。

資金壁壘： 離子注入設(shè)備的研發(fā)投入巨大，需要較高的初始資金投入，生產(chǎn)研發(fā)、測試驗證、生產(chǎn)周期較長，從投資啟動開發(fā)到實現(xiàn)生產(chǎn)銷售往往需要數(shù)年的時間，單臺設(shè)備產(chǎn)品的造價較高，從數(shù)百萬元甚至幾千萬元不等，同時為適應(yīng)市場需求，還需不斷進(jìn)行迭代研發(fā)，開發(fā)不同規(guī)格和性能的系列化產(chǎn)品，對持續(xù)的資金投入和保障要求很高。

品牌壁壘： 離子注入機主要面向下游光伏、集成電路、AMOLED面板、電力電子器件等大型生產(chǎn)制造商，產(chǎn)品的供給方、需求方都較為集中，且具有很強的針對性。離子注入機廠商與客戶形成了穩(wěn)定的長期合作關(guān)系，客戶壁壘較高，打破離子注入機行業(yè)競爭格局存在一定難度。

高壁壘造就了高的行業(yè)集中度，整個市場主要由美國廠商壟斷，根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，全球第一大和第二大離子注入機廠商美國應(yīng)用材料公司和美國Axcelis公司合計占據(jù)全球70%以上的市場。國內(nèi)僅有萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通和北京中科信電子裝備有限公司具備離子注入機的研發(fā)和制造能力。

分領(lǐng)域來看，由于不同廠商各有側(cè)重，因此競爭格局稍有不同：

半導(dǎo)體晶圓制造領(lǐng)域： 根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院的統(tǒng)計，美國應(yīng)用材料占據(jù)全球半導(dǎo)體制造離子注入機市場約70%的份額，Axcelis占據(jù)20%的份額，呈現(xiàn)寡頭壟斷的格局。其中，根據(jù)浦東投資的統(tǒng)計，最為重要的低能大束流離子注入機領(lǐng)域市場競爭格局被應(yīng)用材料（40%）、Axcelis（32%）和漢辰科技AIBT（25%）占據(jù)。

太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域： 根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，目前全球僅凱世通、美國Intevac 和日本真空技術(shù)三家生產(chǎn)太陽能離子注入機，2017年凱世通和Intevac分別銷售17和2臺離子注入機（日本真空技術(shù)未披露銷量），因此凱世通占據(jù)著該細(xì)分市場較大的市場份額。

AMOLED面板制造領(lǐng)域： 根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告和IHS數(shù)據(jù)，目前日本日新離子機株式會社（日新電氣株式會社NissinElectric Co., Ltd.的全資子公司）是AMOLED離子注入機的市場壟斷廠家。

國內(nèi)邊際變化之一：多因素助力，國內(nèi)迎晶圓建廠潮

集成電路：政策、資金、市場助力，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備迎來密集投資期

當(dāng)前中國半導(dǎo)體設(shè)備迎來發(fā)展機遇，從需求端的角度來看，政策、資金、市場是三大助力因素：

政策扶持： 早在2008年出臺的“02專項”實現(xiàn)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備從零到一大跨越。取得了顯著階段成果，包括服務(wù)全球的65-28nm先進(jìn)制程工藝、高密度封裝技術(shù)、30多種高端設(shè)備等。

近幾年政府也先后出臺《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》、《鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展企業(yè)所得稅政策》等政策，從稅收、資金等各個維度為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)給予扶持，其中某些政策對半導(dǎo)體設(shè)備尤其是離子注入機也提出了明確的發(fā)展目標(biāo)要求。

資金支持： 大基金一期投資完畢，注資領(lǐng)域重點在晶圓代工領(lǐng)域，其中代工企業(yè)晶圓廠擴產(chǎn)以及先進(jìn)制程工藝提升均需采購更多數(shù)量以及更為先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備，目前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備在300mm晶圓以及28nm工藝已經(jīng)具備全球競爭力水平，隨著14nm工藝設(shè)備完成驗證以及商用，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商有望新一輪晶圓制造投資。同時，近日大基金二期投資公司已經(jīng)正式成立，注冊資本超2000億元，未來有望繼續(xù)帶動半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)投資。

下游市場： 中國為最主要的全球半導(dǎo)體需求市場，根據(jù)WSTS數(shù)據(jù)，2018 年中國大陸半導(dǎo)體銷售額占全球銷售額占比為34%，根據(jù)Wind統(tǒng)計，近年來中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額占全球比重不斷提升，但至2018年也僅有20%，仍然有不小提升空間。

三大因素助力中國內(nèi)地晶圓制造產(chǎn)線增加，帶來半導(dǎo)體設(shè)備投資機遇。根據(jù)我們的統(tǒng)計，中國內(nèi)地目前在建的晶圓廠：12寸晶圓廠共15家，投資額合計5688億元；8寸晶圓廠共6條，投資額合計247億元。另外計劃建設(shè)的晶圓廠13條，其中有披露投資額的合計4946億元。而晶圓廠設(shè)備采購時間一般為投產(chǎn)前1年左右開始，投產(chǎn)后1年完成相關(guān)晶圓廠設(shè)備采購，帶來了半導(dǎo)體設(shè)備的投資機遇。

太陽能電池：生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化率高，受益政策回暖市場繼續(xù)成長

太陽能電池方面，國內(nèi)光伏行業(yè)發(fā)展獲得政策支持。 經(jīng)歷了幾年的高速發(fā)展，我國光伏產(chǎn)業(yè)在2014-2017年裝機量迎來快速成長，但補貼缺口也隨之不斷擴大， 2018年國家頒布了《關(guān)于2018年光伏發(fā)電有關(guān)事項的通知》（“531”新政）以避免行業(yè)無序混亂發(fā)展，2018年開始國內(nèi)整體光伏行業(yè)受到了一定的負(fù)面影響。但進(jìn)入2019年，國家頒布了《2019年光伏發(fā)電項目建設(shè)工作方案》等政策支持國內(nèi)光伏建設(shè)工作，國內(nèi)光伏市場發(fā)展將更加有序，未來有望健康成長。

根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，目前我國光伏裝備已基本實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)到80%。與國際先進(jìn)水平相比，國產(chǎn)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備最關(guān)鍵的幾種設(shè)備中，離子注入機、擴散爐、管式PECVD、等離子刻蝕設(shè)備、清洗/制絨機等達(dá)到或接近了國際先進(jìn)水平，占據(jù)了國內(nèi)絕大部分市場，性價比優(yōu)勢十分明顯。因此政策的邊際回暖將直接帶動國內(nèi)離子注入機市場健康成長。

AMOLED：需求驅(qū)動OLED 產(chǎn)線開出，未來中國大陸將占據(jù)重要市場

隨著智能手機等中小尺寸領(lǐng)域?qū)MOLED面板的需求不斷增長，面板廠商也紛紛布局OLED產(chǎn)線，而中國大陸隨著京東方、深天馬等廠商的持續(xù)擴產(chǎn)，未來中國大陸有望占據(jù)重要市場份額。根據(jù)IHS的統(tǒng)計，全球中小尺寸AMOLED產(chǎn)能2018-2021年將以19%的復(fù)合增速持續(xù)成長，其中京東方、維信諾、深天馬、華星光電以及和輝光電等國內(nèi)廠商的合計比例從2018年的20%提升到2021年的37%。

國內(nèi)邊際變化之二：國內(nèi)供應(yīng)商實現(xiàn)重要突破

目前國內(nèi)僅有萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通和北京中科信電子裝備有限公司具備離子注入機的研發(fā)和制造能力，但近年來隨著這兩家供應(yīng)商不斷地投入研發(fā)，疊加外部因素的支持，在離子注入機行業(yè)取得了較為良好的進(jìn)展。

萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通：全球領(lǐng)先太陽能離子注入機廠商，發(fā)力IC/IGBT/AMOLED

上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司于2009年4月成立，是一家以離子束技術(shù)為核心的集科研、制造于一體的高科技企業(yè)，主要研制、生產(chǎn)、再制造和銷售國際領(lǐng)先高端離子注入機，重點應(yīng)用于光伏太陽能電池、半導(dǎo)體集成電路與IGBT、新型平板顯示（AMOLED）領(lǐng)域。

2015年凱世通完成股份制改造，2016年新三板掛牌，2018年被上市公司萬業(yè)企業(yè)以3.98億元的現(xiàn)金收購，成為萬業(yè)企業(yè)旗下的全資子公司。（注：萬業(yè)企業(yè)2019H1前三大股東分別為上海浦東科技投資有限公司28.16%、三林萬業(yè)（上海）企業(yè)集團有限公司13.53%、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司5.5%）

2018年凱世通實現(xiàn)營業(yè)收入1.08億元和歸母凈利潤1209萬元，2016-2018年營收復(fù)合增速為132%，歸母凈利潤2017年開始實現(xiàn)扭虧為盈并在2018年繼續(xù)成長。

目前，凱世通已量產(chǎn)的太陽能離子注入機共四款：IonSolar、iPV-2000、iPV-3000和IPV-6000（iPV-3000升級版，產(chǎn)能提升一倍，性價比提升，9月已成功下線，10月移入客戶生產(chǎn)線），全球地位領(lǐng)先。凱世通2017年共銷售iPV-2000和iPV-3000共15臺，同期競爭對手美國Intevac僅銷售2臺（日本真空數(shù)據(jù)未有披露），因此行業(yè)內(nèi)凱世通地位領(lǐng)先，這背后的原因主要來源于以下兩點：

一是從產(chǎn)品性能來看，凱世通的太陽能離子注入機的產(chǎn)品具備產(chǎn)能大、運行成本低、工藝創(chuàng)新、兼容性好以及服務(wù)全面等優(yōu)勢。

二是從下游客戶來看，凱世通背靠中國大陸市場，產(chǎn)品已進(jìn)入國內(nèi)多家知名客戶，太陽能離子注入機產(chǎn)品的主要客戶為中來股份、英利集團、錦州華昌、蘇州國鑫、陜西有色等。

集成電路離子注入機方面，凱世通采取“領(lǐng)先一步”的策略，將目標(biāo)直接定位在16納米及以下制程的FinFET集成電路以及3D存儲器的離子注入設(shè)備方面（FinFET是一種3D結(jié)構(gòu)，相比以往的結(jié)構(gòu)可以大幅改善電路控制并減少漏電流，將晶體管制程工藝提高到更小的尺寸）。

細(xì)分來看，在低能大束流離子注入機方面，凱世通針對研制低能大束流離子注入機所需要解決的關(guān)鍵技術(shù)和技術(shù)難點，建立了相應(yīng)的研發(fā)平臺、相關(guān)核心關(guān)鍵技術(shù)及工藝的研究參數(shù)數(shù)據(jù)庫和性能檢測規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，正在準(zhǔn)備進(jìn)行國內(nèi)知名生產(chǎn)線應(yīng)用驗證。目前凱世通的低能大束流離子注入機在低能和大束流等核心指標(biāo)上已達(dá)到或超過國外同類產(chǎn)品，能夠滿足國內(nèi)集成電路行業(yè)實際應(yīng)用。

在高能離子注入機方面，凱世通計劃在政府項目的支持下，自主研發(fā)國產(chǎn)自主高能離子注入機。凱世通于2019年4月申報的02專項“300mm高能離子注入機裝備及工藝研發(fā)項目”完成第一階段審批，申報的上海市科委的高能離子注入機關(guān)鍵技術(shù)項目已獲得立項。目前凱世通已完成實驗機臺的調(diào)試、恢復(fù)與實驗場地準(zhǔn)備，正在與國內(nèi)關(guān)鍵客戶溝通高能注入的技術(shù)需求。

IGBT離子注入機方面，凱世通目前在研發(fā)及市場推廣方面主攻IGBT氫離子注入機。根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，凱世通基于前期的技術(shù)積累開發(fā)出在與競爭對手保持同樣性能的前提下，價格較競爭對手低1/3。技術(shù)路徑方面，凱世通采用RF技術(shù)的離子源以及Tandemtron加速器和凱世通已研發(fā)成熟的硅片傳送系統(tǒng)實現(xiàn)上述研發(fā)目標(biāo)。該機型的研發(fā)預(yù)計于2019年底完成，并于2020年向市場推廣。

AMOLED離子注入機方面，凱世通目前已經(jīng)推出了G6 iPD600 AMOLED離子注入機，正在與國內(nèi)面板企業(yè)進(jìn)行合作評估。

中科信：國內(nèi)領(lǐng)先的離子注入機生產(chǎn)廠商，集成電路產(chǎn)品取得進(jìn)展

北京中科信電子裝備有限公司成立于2003年，是中電科電子裝備集團有限公司（中電科隸屬于中國電子科技集團有限公司）的全資子公司。中科信是一家專業(yè)從事離子注入機研發(fā)、生產(chǎn)、制造和銷售，以及光伏系列產(chǎn)品生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。

中科信先后承擔(dān)“十五”863計劃100nm大角度離子注入機項目、“十一五”02專項12英寸90-65nm大角度離子注入機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目及“十二五”12英寸45-22nm低能大束流離子注入機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目。其中“十一五”90-65nm大角度中束流離子注入機已具備產(chǎn)業(yè)化能力，進(jìn)入國內(nèi)超大規(guī)模集成電路制造生產(chǎn)線并實現(xiàn)量產(chǎn)，2016年取得國產(chǎn)機臺首家量產(chǎn)突破百萬的佳績，2015、2016年度連續(xù)獲得由中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會頒發(fā)的中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)大獎。

根據(jù)中國招標(biāo)網(wǎng)的數(shù)據(jù)，2016年至2019年9月一共有5家廠商中標(biāo)華力集成的離子注入機項目，一共中標(biāo)26臺，其中中科信中標(biāo)1臺，取得了進(jìn)展和突破。

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