基于ZnO材料的壓電泵設計及仿真

更新于2024年2月2日 17:10
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本案例基于COMSOL軟件仿真了一壓電泵，結構設計如圖所示。模擬了壓電泵在交流電壓作用下底部硅杯的變形結果，如圖所示。

m1.jpg

壓電泵設計結構簡圖

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結構的壓電耦合形變

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