什么是EUV光刻機？

2021年12月30日 15:35
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來源：芯通社


為什么三星、臺積電、英特爾，這三家直接競爭對手企業爭相投資ASML？

EUV堪稱半導體設備發展以來最昂貴的設備，一臺售價高達9,000 萬歐元。

中芯國際前兩年也曾向ASML下單了一臺價值高達1.2億美元的EUV（極紫外線）光刻機，不過最終沒有達到貨物。

看看如何修煉這臺設備的。

什么是EUV光刻機？的圖1


什么是EUV光刻機？的圖2


什么是EUV光刻機？的圖3


什么是EUV光刻機？的圖4


什么是EUV光刻機？的圖5


什么是EUV光刻機？的圖6

什么是EUV光刻機？的圖7




什么是EUV光刻機？的圖8


什么是EUV光刻機？的圖9



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