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基于ANSYS APDL的硅微諧振式加速度計模態分析

北緯35

2021年12月25日 08:46

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硅微諧振式加速度計硅微諧振式加速度計

建模幾何

基于ANSYS APDL的硅微諧振式加速度計模態分析的圖1

有限元及邊界條件

QQ瀏覽器截圖20211225084213.png

模態結果

QQ瀏覽器截圖20211225084346.png

附件包括：建模及仿真分析結果

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