國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）

半導體產業研究院

2021年12月16日 18:33

——以下內容摘自《半導體設備深度專題：從晶圓廠招標數據看半導體設備國產化進展》，已上傳【半導體產業研究】知識星球，成員可登錄星球搜索關鍵詞下載（文末查看如何成為星球成員）。

點擊查看國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（一）

6、去膠：國產化率 74%，屹唐股份、盛美上海國產入圍

長江存儲：屹唐股份中標數量位列第一。屹唐股份共計中標 74 臺，數量超過韓國PSK，中標產品涵蓋前、中、后段干法去膠設備。屹唐股份為中標范圍內唯一一家國產廠商。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖1

華力集成：屹唐股份中標數量位列第一。屹唐股份共計中標 10 臺，中標產品為等離子去膠設備，涵蓋前、中、后段去膠工藝。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖2

華虹無錫：迪恩士獲采購較多，國產廠商包括屹唐股份、盛美上海。其中，屹唐股份中標 13 臺設備，均為等離子去膠設備；盛美上海中標 4 臺，均為前段光刻膠剝離設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖3

總結：去膠設備方面，屹唐股份、盛美上海等公司入圍，兩家設備類型有所區別。其中，屹唐股份主要產品為各類等離子體干法去膠設備，其收購的 Mattson 在去膠領域具有長期技術積累，國產化率相對較高，盛美上海產品為濕法去膠設備。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 101 臺，晶圓廠招標設備總數 137 臺，由此計算國產化率約 73.7%。

7、化學機械拋光：國產化率 21%，華海清科為國內細分龍頭

長江存儲：應用材料、華海清科中標最多。其中華海清科共計中標 34 臺，僅次于應用材料，中標產品主要為層間介質層化學機械拋光機、氧化硅化學機械拋光機、晶圓硅面化學機械拋光機等。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖4

華力集成：應用材料、荏原制作所領先，國內華海清科中標。華海清科共計中標 4臺，中標產品涵蓋硅研磨設備、銅化學機械研磨設備、氧化硅化學機械研磨設備和硅片背面氧化膜化學機械研磨設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖5

華虹無錫：應用材料、華海清科獲采購較多。華海清科共計中標 10 臺設備，化學機械拋光工藝涵蓋銅、硅片再生、淺溝槽絕緣氧化膜&多晶硅膜、鎢等工藝環節，應用領域較為多樣；吉姆西半導體科技中標 5 臺，為氧化膜化學機械拋光設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖6

總結：化學機械拋光設備方面，華海清科為國內細分龍頭，化學機械拋光設備涵蓋銅、硅片再生、淺溝槽絕緣氧化膜&多晶硅膜、鎢等多類材料。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 48 臺，晶圓廠招標設備總數 230 臺，由此計算國產化率約20.9%。與海外廠商相比，在工藝覆蓋率方面，國內廠商有進一步提升空間。

8、離子注入：國產化率 1.4%，爍科中科信國產獲采購

長江存儲：應用材料、亞舍立（Axcelis）中標較多。應用材料為離子注入領域全球龍頭，共計中標 38 臺，中標產品涵蓋高束流、中束流等類型；亞舍立 Axcelis 中標 8 臺，主要為高能離子注入設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖7

華力集成：應用材料、住友重工、亞舍立等企業領先，國產爍科中科信獲得采購。應用材料中標設備涵蓋高電流、中電流和高能量離子注入設備；住友重工中標設備包括高電流和中電流離子注入設備；亞舍立中標設備為中電流和高能量離子注入機；爍科中科信于 2019 年中標 1 臺中束流離子注入機。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖8

華虹無錫：住友重工、應用材料獲采購最多，國產廠商爍科中科信獲得采購。其中，住友重工、應用材料、亞舍立分別中標 22 臺、20 臺、4 臺離子注入機；爍科中科信于2020 年中標 1 臺，為中電流離子注入設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖9

總結：離子注入設備方面，爍科中科信在華虹無錫、華力集成均獲得中標，中標設備均為中束流離子注入設備。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 2 臺，晶圓廠招標設備總數 139 臺，由此計算國產化率約 1.4%，該領域尚存在較大國內外差距，替代空間廣闊。

9、涂膠顯影：國產化率 1.1%，芯源微實現國產零突破

長江存儲：主要采購自東京電子，部分迪恩士、漢民科技。尚未采購國產廠商設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖10

華力集成：東京電子獲采購數量領先，芯源微實現零的突破。其中，國產廠商芯源微中標 1 臺，為防反射層勻膠機設備/BARC Coater。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖11

華虹無錫：18 臺招標涂膠顯影設備全部采購自東京電子，尚未采購國產廠商設備。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖12

總結：涂膠顯影設備方面，東京電子獲采購較多，國產設備公司中僅芯源微入圍。芯源微在華力集成中標設備為勻膠機，國產化尚存在較大發展空間。除上述晶圓廠外，芯源微還在中芯紹興、上海積塔、青島芯恩等晶圓廠獲得批量招標采購，產品包括聚合物涂膠顯影機、背面涂膠顯影機、KrF 勻膠顯影機、I-line 勻膠顯影機等，公司在國內涂膠顯影設備領域具有一定稀缺性。從前述三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 1 臺，晶圓廠招標設備總數 91 臺，由此計算國產化率約 1.1%。

10、光刻：國產化率 1.2%，阿斯麥絕對壟斷，上海微實現國產零突破

光刻機方面，各晶圓廠均主要采購阿斯麥產品，少量采購日系廠商佳能、尼康。國產廠商中，上海微電子裝備于 2021 年初于長江存儲中標一臺光刻機。當前在光刻機領域，后續廠與龍頭廠商阿斯麥之間差距仍較為明顯。從三座晶圓廠累計招標情況來看，國產設備中標總數 1 臺，晶圓廠招標設備總數 86 臺，國產化率約 1.2%，國產化率尚低。

國內半導體設備中標明細及其國產化率統計（二）的圖13