——以下內容摘自《半導體設備深度專題：從晶圓廠招標數據看半導體設備國產化進展》，已上傳【半導體產業研究】知識星球，成員可登錄星球搜索關鍵詞下載（文末查看如何成為星球成員）。

1、刻蝕：國產化率 22%，中微公司、北方華創、屹唐股份三強崛起

長江存儲：國產刻蝕設備主要采購自中微公司、北方華創、屹唐股份。在長江存儲2017~2021 年刻蝕設備招標中，中微公司設備中標數量位列第三，累計 58 臺，僅次于泛林、東京電子，高于應用材料，體現出中微公司在刻蝕設備領域達到國際水平的技術競爭力。北方華創、屹唐股份僅次于應用材料，分別錄得 24 臺、18 臺。

華力集成：中微公司中標數量位列第二，僅次于泛林，高于東京電子、應用材料。過去五年華力集成招標期間，中微公司共中標 15 臺，北方華創中標 1 臺。其中中微公司中標設備包括光阻刻蝕、銅互連溝槽刻蝕、鈍化膜刻蝕、通孔刻蝕、多晶硅刻蝕等，北方華創中標設備為多晶硅 STI 刻蝕。

華虹無錫：中微公司位列第二，僅次于泛林，高于迪恩士、東京電子。中微公司共中標 11 臺，北方華創中標 6 臺，其中中微公司中標設備包括鈍化膜刻蝕、氧化膜刻蝕、介質側墻刻蝕等，北方華創中標設備包括多晶硅刻蝕、淺溝槽刻蝕等。

  總結：刻蝕設備方面，中微公司、北方華創、屹唐股份分列國內前三，其中中微公司工藝覆蓋范圍相對較廣，其主力出貨類型為 CCP（電容耦合等離子刻蝕），面向介質刻蝕較多，近期 ICP（電感耦合等離子刻蝕）逐步發力，未來工藝范圍有望進一步拓寬；北方華創主要工藝覆蓋為多晶硅、淺溝槽、鋁刻蝕等類型，主要面向金屬、硅等導體刻蝕為主；屹唐股份在長江存儲獲得大量采購，主要面向介質刻蝕。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 133 臺，晶圓廠招標設備總數 605 臺，由此計算國產化率約 22.0%（按照臺數占比，下同）。與國外廠商相比，國產刻蝕設備在刻蝕精度、工藝覆蓋率等方面還存在進一步提升空間。

2、薄膜沉積：國產化率 4.6%，拓荊科技、北方華創、盛美上海為國產前三強

長江存儲：薄膜沉積設備主要采購日美設備，包括東京電子、國際電氣、泛林、應用材料等。國產廠商中，拓荊科技、北方華創分別中標 14 臺、11 臺，其中拓荊科技中標設備主要為 PECVD（等離子增強化學氣相沉積），北方華創中標設備主要為 PVD（物理氣相沉積）。

華力集成：應用材料中標最多，國產包括拓荊科技、北方華創、盛美上海。其中拓荊科技中標設備為 PECVD，北方華創中標設備為濺射設備，盛美上海中標設備為銅電鍍設備。

華虹無錫：主要采購應用材料、泛林，國產廠商包括北方華創、拓荊科技、江蘇芯夢。其中，北方華創中標設備為 PVD，拓荊科技中標設備為 PECVD，江蘇芯夢中標設備為化學鍍設備。

總結：薄膜沉積設備方面，拓荊科技、北方華創、盛美上海分列國內前三，但三家廠商設備類型有明顯差異，其中拓荊科技主要為 PECVD（等離子增強化學氣相沉積），北方華創主要為 PVD（物理氣相沉積），盛美上海涉及電鍍設備，三家廠商均是對應細分設備（PECVD、PVD、電鍍）領域的國內龍頭，產業地位突出。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 44 臺，晶圓廠招標設備總數 967 臺，由此計算國產化率約4.6%。與海外廠商相比，國產廠商在薄膜沉積領域工藝覆蓋類型方面尚不完善，仍有較大發展空間。

3、過程控制：國產化率 2.4%，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器國內領先

長江存儲：過程控制設備主要采購美、日設備，包括 Onto（由 Nanometrics 和Rudolph Technologies 合并）、科天、日立高新、應用材料、賽默飛等。國產廠商中，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器分別中標 7 臺、6 臺、2 臺，其中中科飛測中標設備主要為光學表面三維形貌量測設備，精測半導體中標設備主要為膜厚光學關鍵尺寸量測儀，睿勵科學儀器中標設備為介質薄膜測量系統。

華力集成：Nova Measuring、科天中標最多，國產僅睿勵科學儀器中標。其中Nova Measuring 為以色列量測設備公司，共計中標 45 臺，中標產品包括化學機械研磨厚度在線測量設備、光學線寬測量儀設備、硅片厚度測量儀、X 射線光電子能譜分析量測設備等。睿勵科學儀器于 2019 年 11 月中標的 1 臺設備為后段膜厚測量儀設備(BEOL)。

華虹無錫：主要采購科天、日立高新，國產廠商包括吉姆西半導體科技、無錫卓海。其中，吉姆西半導體科技 6 臺中標設備為膜厚測量儀，無錫卓海 1 臺中標設備為套刻精度檢測機。從兩家公司官網我們了解到，吉姆西半導體科技主要業務為半導體再制造設備和研磨液供應系統，再制造設備品牌涵蓋應用材料、泛林、日新、東京電子、Nanometrics、Mattson 等；無錫卓海科技專注半導體前道檢測與量測設備領域的研發、制造、修理、技術服務，再制造設備品牌涵蓋科天、日立高新、Ruldoph、Quantox、尼康等。

總結：過程控制設備方面，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器屬于國內布局領先企業，其中中科飛測主要產品為光學表面三維形貌量測設備等光學檢測設備，精測半導體、睿勵科學儀器主要產品均為膜厚量測設備。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 16 臺，晶圓廠招標設備總數 680 臺，由此計算國產化率約 2.4%，國產廠商設備僅覆蓋膜厚量測、光學形貌量測等類型，品類尚不齊全，存在較大市場空間尚待開拓。

4、氧化擴散/熱處理設備：國產化率 29%，北方華創優勢較為明顯

長江存儲：北方華創中標僅次于東京電子，屹唐股份、成都萊普科技亦獲得采購。其中北方華創共計中標 94 臺，中標產品涵蓋氧化、退火、合金等設備。屹唐股份中標 6臺，主要為退火設備；成都萊普科技于 2021 年 9 月中標 2 臺，為退火設備。

華力集成：東京電子、應用材料等企業領先，北方華創、屹唐股份、盛美上海亦獲得采購。其中北方華創共計中標 4 臺，中標產品涵蓋退火、合金、氧化爐設備；屹唐股份（Mattson）中標 2 臺，為快速熱退火/快速熱氧化設備；盛美上海中標 1 臺，為低壓高溫氧化爐設備。

華虹無錫：東京電子獲采購最多，國產廠商包括北方華創、屹唐股份、上海微電子等。其中，北方華創中標 10 臺設備，包括合金退火爐、真空烘烤爐等；屹唐股份中標 3臺，為快速熱退火設備；上海微電子中標 2 臺，為背面激光退火設備。

總結：氧化擴散/熱處理設備方面，北方華創中標設備數量靠前，尤其是在長江存儲中獲采購數量較大。北方華創相關設備主要以各類氧化爐、退火爐、合金爐等為主；除北方華創外，屹唐股份、盛美上海等公司亦有相關爐管產品；上海微電子面向 IGBT 等應用開發了激光退火設備，與爐管設備有所區別。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 124 臺，晶圓廠招標設備總數 430 臺，由此計算國產化率約 28.8%。

5、清洗：國產化率 31%，盛美上海中標設備數量國產最多，僅次于日本迪恩士

長江存儲：盛美上海中標設備數僅次于日本廠商迪恩士，國產中標廠商還包括芯矽科技、北方華創、屹唐股份。其中盛美上海共中標 35 臺，中標產品主要包括各類型單片式清洗機。芯矽科技共計中標 5 臺，中標產品為零部件清洗機。北方華創共中標 2 臺制程擋控片蝕刻回收清洗機，屹唐股份亦于 2021 年中標 2 臺清洗設備。

華力集成：盛美上海中標僅次于日本迪恩士，北方華創、芯源微亦獲得采購。其中盛美上海共計中標 19 臺，中標產品涵蓋前段、后段工藝的清洗設備。北方華創中標 13臺，均為部件清洗設備；芯源微中標 3 臺，為刷片清洗設備。

華虹無錫：迪恩士、盛美上海分列前兩位，國產廠商還包括上海稷以科技有限公司。其中，盛美上海中標 19 臺設備涵蓋前后段制程，涉及銅線聚合體剝離、鋁線及通孔清洗、多晶硅氧化膜硅片再生、擴散爐前清洗等環節，產品應用較為多樣。上海稷以科技有限公司于 2021 年 9 月首次中標華虹無錫清洗設備 1 臺，具體產品為 300mm 薄片等離子背面清洗機。

總結：清洗設備方面，盛美上海表現較為突出，在選取的三家晶圓廠中設備中標數量均位列第二，僅次于日本迪恩士。盛美上海清洗設備工藝覆蓋面較廣，基本涵蓋前、中、后段工藝，除盛美上海以外，國內北方華創、芯源微、屹唐股份、至純科技等企業均有所布局。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 99 臺，晶圓廠招標設備總數 318 臺，由此計算國產化率約 31.1%。當前國產設備主要在后端制程為主，且部分用于處理控片、擋片，在正片、前端制程應用相對有限，未來仍存在較大發展空間。

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