碳化硅投資熱還在繼續，最近，山西又有2個項目公布：

▲ 碳化硅器件實驗室：啟動資金8000萬元，月產5000片。

▲ 碳化硅晶圓檢測“揭榜掛帥”，政府最高補助2000萬元。

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SiC芯片實驗室：

投資8000萬，月產5000片

據山西省商務廳網站公告，8月10日至13日，第三代半導體SiC實驗室項目與陽城開發區負責人達成合作協議，將建設SiC實驗室等產業基地，總投資175億元。

該項目核心團隊是由半導體技術專家組成，啟動資金8000萬元，建設實驗室等約2000平方米，總占地300畝，形成月產5000片碳化硅功率芯片制造能力。

開展SiC晶圓檢測

政府補助2000萬元

8月13日，山西省太原市發布了“揭榜掛帥”八個項目，其中包括中電科風華信息裝備股份有限公司的碳化硅晶圓檢測項目。

據介紹，風華信息裝備的“碳化硅（SiC）襯底缺陷多模態高分辨檢測技術及設備開發”，擬開發SiC晶圓多模式融合光學檢測系統、高精度掃描微位移平臺、缺陷智能識別分析系統，研制SiC襯底缺陷多模態高分辨檢測設備等關鍵裝備。

據企查查，風華信息成立于1998年12月3日，是一家平板顯示裝備企業，同時具有新型電子元器件、半導體和新能源工藝裝備研制及系統集成能力。

據太原市科技局介紹，這8個“揭榜掛帥”項目總投資近7億元，其中研發投入5億多元。研發經費由企業自籌為主，政府財政資金補助為輔，財政資金按項目研發投入總額的30%、最高2000萬元給予補助。