最近，國(guó)內(nèi)
2條
碳化硅器件生產(chǎn)線有了
新進(jìn)展
：
▲ 士蘭微：SiC功率器件中試線已經(jīng)
通線
，將加快研發(fā)
SiC MOSFET
和
車規(guī)
模塊；
▲ 燕東微電子：傳聞與基本半導(dǎo)體合建
6英寸
SiC器件線，采用國(guó)產(chǎn)核心設(shè)備。
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士蘭微：
碳化硅中試線通線
加快車規(guī)SiC模塊
8月16日，士蘭微發(fā)布2021年
半年度
報(bào)告，上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入
33.08
億元，同比增長(zhǎng)
94.05%
；實(shí)現(xiàn)凈利潤(rùn)
4.31
億元，同比增長(zhǎng)
1306.
52%
。
公告還提到，2021年上半年，士蘭微
硅基GaN
化合物功率半導(dǎo)體器件的研發(fā)在持續(xù)推進(jìn)中，SiC功率器件的
中試線
已在二季度實(shí)現(xiàn)通線。同時(shí)，將加快SiC
MOSFET
功率器件的研發(fā)，推出自產(chǎn)芯片的車用SiC功率模塊。
官網(wǎng)資料顯示，士蘭微成立于1997年9月，2003年3月在上海證券交易所掛牌交易，是
第一家
在中國(guó)境內(nèi)上市的集成電路芯片設(shè)計(jì)企業(yè)。
士蘭微還布局了化合物半導(dǎo)體，早在2017年12月，士蘭微就與廈門(mén)半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司共同投資220億元，在廈門(mén)規(guī)劃建設(shè)兩條12英寸的特色工藝硅芯片生產(chǎn)線和一條4/6英寸化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線。2020年，士蘭化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線正式投產(chǎn)。
燕東微碳化硅技改線通過(guò)驗(yàn)收
基本半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)參與其中？
據(jù)《半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)觀察》8月3日的報(bào)道，
燕東微
電子與深圳
基本半導(dǎo)體
共建了
6英寸
SiC生產(chǎn)線。
官網(wǎng)資料顯示，北京燕東微電子有限公司成立于1987年，隸屬北京電子控股有限責(zé)任公司，為北京市國(guó)資委下屬的二級(jí)國(guó)有控股企業(yè)，主營(yíng)產(chǎn)品包含
功率半導(dǎo)體
、精密器件等。
2019年，燕東微電子投資建成了國(guó)內(nèi)
首條
基于國(guó)產(chǎn)核心裝備的全自動(dòng)智能化
8英寸
硅芯片生產(chǎn)線。據(jù)“三代半風(fēng)向”了解，燕東微電子的碳化硅生產(chǎn)線也是基于國(guó)產(chǎn)核心裝備。
4月13日，北京市科委的文件顯示，“硅器件線改造成SiC器件線工藝研究項(xiàng)目”
驗(yàn)收通過(guò)
，該項(xiàng)目是由燕東微電子與北方華創(chuàng)聯(lián)合實(shí)施。
該生產(chǎn)線還采用了其他國(guó)產(chǎn)設(shè)備。據(jù)北京華卓精科招股書(shū)，該公司的碳化硅功率激光退火設(shè)備
已完成
相關(guān)工藝測(cè)試并實(shí)現(xiàn)了向燕東微電子交付。
