又一企業量產8寸SiC,全球已有7家
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意法量產8英寸晶圓
開發第四代工藝
6月3日,意法半導體CEO Jean-Marc Chery與亞洲媒體分享了未來的發展策略時表示,2020年意法半導體的總營收達到了102億美元(約660億人民幣)。同時Jean-Marc專門介紹了SiC的最近進展。
在晶圓及外延方面,意法半導體除了與CREE和SiCrystal簽署長期供應外,還通過收購Norstel來自主生產6英寸晶圓。其中比較重磅的消息是,Norstel最近已經成功交付了首個8英寸SiC晶圓。
圖文無關
在技術進展方面,據介紹,目前意法半導體正在采用第三代SiC平面制造工藝,并且在積極開發第四代工藝中。
全球7家企業將量產8英寸襯底
另外,Soitec最近也宣布將要建設新工廠,以生產8英寸SiC產品。
6 月 10 日,Soitec公布了他們2020年的業績,2020財年(截至2021年3月)營收為6.68億美元(約43.2億人民幣)。Soitec預計五年內營收將在增長兩倍,2025/2026財年的銷售額將達到20億美元(約129億人民幣)。
為實現這一增長,Soitec計劃在五年內投資11億歐元(87.57億人民幣),將其年產能翻一番,達到400萬片晶圓。同時,還將新建2家工廠,其中一家工廠將生產6英寸和8英寸SiC晶圓,該廠將在2022年3月前開始建設,以便在2023/2024財年投入使用。
據“三代半風向”了解,2015年,Cree和Rohm都展示了8英寸SIC襯底。2015年7月,II-VI也展示了8英寸導電型SiC襯底,2019年又推出了半絕緣8英寸SiC襯底。2020年9月24日,英飛凌表示200mmSiC晶圓生產線已經建成。
在量產時間表方面,2019年5月,Cree宣布投入10億美元(約64.6億人民幣)建設新工廠,將于2024年量產8英寸碳化硅等產品。
今年4月,II-VI表示,未來5年內,將SiC襯底的生產能力提高5至10倍,其中包括量產直徑200 mm(8英寸)的襯底。
英飛凌預計2023年左右開始量產8英寸襯底,以2025年為目標,量產8英寸SiC襯底器件。
此外,中國企業也掌握了相關技術。2020年10月,據山西日報報道,山西爍科晶體公司完全掌握4-6英寸襯底片“切、磨、拋”工藝,同時8英寸襯底片已經研發成功,即將量產。
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