在微電子機械系統（ＭＥＭＳ）研究和設計中，微系統數值仿真分析是一個重要研究領域．本文對ＭＥＭＳ中多種能量場耦合問題的各種數值仿真分析方法進行了綜合評述．分析了該領域目前的研究現狀并指出了其今后的發展方向．